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超高真空系统

超高真系统主要使用真空技术,通过不同形式的组合获得超高真空及洁净真空。公司生产系列高真空设备广泛应用于广泛应用于航空、航天、兵器等军工业、红外、光电器件、半导体等领域。

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产品简介

超高真系统主要使用真空技术,通过不同形式的组合获得超高真空及洁净真空。

公司生产系列高真空设备广泛应用于广泛应用于航空、航天、兵器等军工业红外、光电器件、半导体等领域


应用

1) 应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃等光电子玻璃产品的制造。

2) 红外器件抽真空除气;

3) 半导体器件提供高真空、洁净环境;

4) 激光陀螺谐振腔阴极的真空处理

5) 高真空滴油台可提供一个清洁无油的高真空环境,可用于精密仪表、陀螺、精密传感器和变送器等需要充注高纯度油的器件上,实现其加热除气及充油

关键技术

1) 真空获得技术

通过系统选型、配置及真空工艺设计获得小于10-9Pa真空,极高真空环境使用需求。

真空密封技术

2) 真空工艺处理

根据用户需求提供不同形式的工艺处理,如真空加热、真空密封、真空检漏、真空充气等等。